半導體器件用鎳鉑靶材制備關鍵技術獲重大突破

　　雲南日報8月13日消息，經過刻苦攻關，雲南省國際合作計劃專項——“半導體器件用鎳鉑靶材的制備關鍵技術及產業化”取得重大突破，建立了生產線並取得良好經濟效益，鎳鉑靶材替代了進口產品並遠銷海外。日前，由貴研鉑業股份有限公司承擔的該項目通過驗收，總體評價爲優秀。

　　項目實施過程中，技術團隊開展了鎳鉑靶的真空熔鑄及塑性加工等方面的研究，在鎳鉑靶的微觀結構及擇優取向控制、含脆性相靶材的塑性加工技術、異型靶材的衝壓成型技術；刀具的選型、裝夾工具設計及機加工優化技術；靶材與背板的高可靠性焊接技術；加工過程中產生的邊角料清洗再利用技術、Pt的綠色高效化學提純技術4個方面取得重大突破。該技術團隊先後入選昆明市科技創新團隊，雲南省創新團隊培育對象、雲南省工人先鋒號。

　　據悉，項目實施以來，取得了良好經濟社會效益。貴研鉑業股份有限公司建成了年產1000片鎳鉑靶產品示範生產線，形成了長方狀、碗狀和圓形3種外形，5種不同Pt含量的鎳鉑靶材產品，技術性能指標及尺寸精度滿足了用戶使用要求。產品不但實現了替代進口，還出口至美國知名半導體公司。累計銷售各類鎳鉑靶材1300片，實現產值1.05億元，銷售利潤1946.39萬元，其中出口創匯517.2萬美元。2017年，產品獲得第19屆深圳高交會優秀產品獎。期間，技術團隊申請發明專利20件，授權9件，發表論文22篇；引進海歸博士1人，培養在職博士生4人，培養碩士研究生3人。